Last up date
2005/09/03
 
 
■お問い合わせは■
(0795)77-3737
研磨技術相談室
 
 
 
研磨面の計測
粗さの定義
よく研磨された鏡のように見える表面でも、分子や原子の単位 、あるいはそこまで下らないまでもマイクロメーター(μm)の尺度に表面 を拡大して眺めることができたとすれば、おそらく完全な平滑面 は存在しえず、ちょうど地勢図のように山・谷・平野の凹凸 起伏に富む表面地形を形成しているものと思われます。  このような3次元的表面 の表面を測定するには、3次元粗さ測定器などを用いるのが一般 的ですが、数値的に指示、評価することは容易ではありません。そこで、この表面 を垂直にある任意の方向で裁断し、この断面に現れる2次元の表面 波形情報を定量的に統計処理することにより、表面粗さ情報を抽出しようとするのが現在最も普及した表面 粗さの評価方法です。

表面粗さの測定方法
(1)触針法 各種表面粗さ測定方法のうち、最も広く普及しているのが触針式粗さ計です。 先端半径2〜10μm程度の触針(ダイヤモンド、サファイヤ等)で表面 を直接トレースし、その触針の上下動を差動トランスなどで電気的な信号に変換し、出力するものです。

(2)光切断法 細かい光の帯を試料面に45°の方向から投射して光切断を行い、これを光の帯に対して90°方向から観測する方法です。

(3)光波干渉法 表面粗さが小さくなると光波干渉法が用いられます。 光源からの単色光を分けて2方向に向かせ、片方の光は基準面 で、他は試料面で反射させ、光路差によって干渉縞を生じ、これを顕微鏡によって観測する方法です。
(4)NF粗度 Rmax数μ以下の不規則な粗さ曲面を持つ仕上面 の、拡散反射を利用したものです。
(5)表面粗さ標準片 あらかじめ正確に表面粗さを測定してある同種の加工法の標準片と比較する方法で、比較は肉眼または触感によりますが、触感の方が測定精度が高いです。特に爪で引っかくと相当高い精度の比較が可能であり、工作現場で手軽に表面 粗さが比較できます。

粗さの測定法
各種表面粗さ測定方法のうち、最も普及しているのが触針式粗さ計です。
(1)最大高さ Rmax(Ry)
断面曲線から基準長さLだけを抜き取った部分の平均線に平行な2直線で、抜き取り部分をはさんだとき、この2直線の間隔を断面 曲線の縦倍率の方向に測定して、その値をミクロン単位(μ =0.001mm)であらわします。


(2)十点平均粗さ Rz 断面曲線から基準長さだけを抜き取った部分の平均線に平行な直線のうち、高い方から3番目の山頂を通 るものと、深い方から3番目の谷底を通るものを選び、この2本の直線の間隔を断面 曲線の縦倍率の方向に測定して、その値をミクロン単位(μ =0.001mm)であらわします。


(3)中心線平均粗さ Ra 粗さ曲線からその中心線の方向に測定長さLの部分を抜き取り、この抜取部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY軸とし、粗さ曲線をy=f(x)で表したとき、次式で与えられるRaの値をミクロン単位 (μ=0.001mm)で表します。
                

Lm JIS規格(JIS B0601-1982)では、以上の3種類が定められています。

■用途別 製品選定集

■一般 的な表面粗さ測定値

■鏡面 仕上げ順序及び粗さ測定値

 

(C)Copyright YANASE Co., All rights reserved.
柳瀬株式会社本社・工場 〒669-3131 兵庫県丹波市山南町谷川1385